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業(yè)務(wù)詳情

全自動(dòng)減薄機(jī)GR-6110
全自動(dòng)減薄機(jī)GR-6110

全自動(dòng)減薄機(jī)GR-6110

產(chǎn)品分類:

關(guān)鍵詞:

源頭廠家,自主研發(fā),支持定制,一年質(zhì)保,終身售后

全自動(dòng)減薄機(jī)GR-6100.jpg
  • 產(chǎn)品描述
  • 技術(shù)特點(diǎn)
    ●同時(shí)支持深切緩進(jìn)給(Creep- -Feed)和軸向進(jìn)給(In- Feed)磨削原理;
    ●可選配全自動(dòng)上下料系統(tǒng),設(shè)備可由自動(dòng)減薄設(shè)備變?yōu)槿詣?dòng)減薄設(shè)備;
    ●GPP行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)明顯;
    ●高加工效率,4英寸GPP用硅晶圓UPH可達(dá)360pcs/h;
    ●節(jié)省空間的設(shè)計(jì),占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。


    性能指標(biāo)

    自動(dòng)減薄機(jī)

    GR-6110

    最大加工物尺寸

    Φ156mm

    主軸

    主軸數(shù)量

    1

    輸出功率

    7.5KW

    轉(zhuǎn)速

    1000-6000rpm

    Z軸

    行程

    120mm

    進(jìn)給速度

    0.00001~0.08mm/s

    最大返回速度

    50mm/s

    分辨率

    0.1pm

    承片臺(tái)數(shù)量

    4 (可定制)

    工作臺(tái)轉(zhuǎn)速

    0-20rpm

    減薄精度

    片內(nèi)厚度偏差

    <5μm

    片間厚度偏差

    <±5μm

    表面粗糙度Ra

    <0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)

    測(cè)量?jī)x

    測(cè)量范圍

    不適用

    分辨率

    重復(fù)精度

    其他規(guī)格

    夕卜形尺寸(WxDxH)

    750mmx1350mmx1750mm

    設(shè)備重量

    ≈2000 kg

     

     

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